集成电路纯水设备

作者：郭龙祥

来源：电子测试, 2020, (08): 134-135.

DOI：10.16520/j.cnki.1000-8519.2020.08.058

• 集成电路
• 纯水设备
• 大规模集成电路

本文就集成电路程序设备进行研究,希望可以为纯水设备的发展提供借鉴。

• 单位
  华东光电集成器件研究所