基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展

作者：张师斌; 吴进波; 张丽萍; 郑鹏程; 姚虎林; 欧欣

来源：导航与控制, 2022, 21(Z1): 29-39.

DOI：10.3969/j.issn.1674-5558.2022.h3.004

• 5G通信
• 射频前端
• 声波滤波器
• 单晶压电薄膜
• 异质衬底

在5G及未来6G无线通信系统中，射频（Radio Frequency, RF）前端技术被视为一项关键技术。而射频滤波器作为射频前端的核心部件，具有频率选择以及抑制干扰信号的功能，基于压电效应的声波滤波器凭借其性能、体积、工艺等优势已成为移动射频前端的主流选择。近几年，随着异质集成材料制备技术的突破，基于单晶压电薄膜异质衬底（如LiTaO3/SiO2/Si）的声表面波、体声波与板波滤波器技术屡有突破。结合当下研究热点，依次对单晶压电薄膜异质衬底的制备、声波器件仿真、声表面波与板波滤波器技术的研究进展进行介绍与分析，并对未来声波滤波器的发展做出展望。

• 单位
  信息功能材料国家重点实验室; 中国科学院大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所