阿达玛光谱仪的入射狭缝选择方法研究

作者：范玉; 吴一辉; 宣明; 张平; 周连群; 刘永顺

来源：光谱学与光谱分析, 2010, (09): 2581-2585.

• 阿达玛光谱仪
• 微硅片狭缝阵列
• 光通量
• 阿达玛S型阵列 Hadamard spectrometer
• Micro-silicon-slits matrices
• Throughput
• Hadamard S slits

为了确定光谱仪的入射多狭缝结构设计的可靠依据,研究了4种阿达玛S型狭缝阵列发生衍射后的光强分布。采用MEMS加工技术制作出最小狭缝单元为6μm×6μm的一体式微硅片阿达玛狭缝阵列,对3种S7型狭缝和一种S15型狭缝进行比较。首先利用阿达玛矩阵构造狭缝阵列的孔径函数,得到了衍射后的光强分布函数;然后运用Matlab软件对光强分布函数仿真,获得了各种狭缝衍射后的光强分布图及光通量对比。搭建了试验装置进行验证,试验表明实际衍射光强分布及光通量间的比值都与仿真结果相符。最后分析了狭缝结构参数对光强分布的影响,总结了S型狭缝阵列衍射规律。所提出的衍射光强分布方法,为光谱仪中入射狭缝的选择与设计提供了理论...

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室