自动光学检测机在彩膜面板Mask Common检测中的应用研究

作者：薛婕; 王旭; 石蓬; 张文富; 塔拉

来源：制造业自动化, 2020, 42(07): 28-45.

• 彩色滤光膜
• 自动光学检测机
• 共通缺陷

彩色滤光膜(CF)作为薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的重要组成部分,其面板质量的高低对用户的观看体验有着决定性影响。简述了自动光学检测机(AOI)在彩膜面板微观共通缺陷(Mask Common)检测、识别、判断和继承等功能中的重要应用。通过缺陷检测阈值的设定与优化实现Mask Common 100%拦截,通过加强设备报警与生产的联动监测,降低彩膜面板的良率损失,提高彩膜面板在下游工序的直通率。

• 单位
  北京京东方显示技术有限公司