一种原子气室制备碱金属充制工艺设备的研制

作者：王华栋^*; 高炳天; 刘立美; 冯浩; Gao Xingmin; Shevchenko.O.V.

来源：真空科学与技术学报, 2020, 40(11): 1050-1053.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.11.09

• 原子气室
• 碱金属
• 真空充制
• 工艺设备

原子气室是新型量子仪表如量子频标和量子传感器等的核心部件,在其制备过程中,碱金属真空充制设备和充制质量控制是工艺和技术难点之一。运用麦克斯韦速率分布规律和Langmuir物质蒸发与凝结理论,研制了一种原子气室制备过程中碱金属充制的自动化控制工艺设备。实现了碱金属充制过程量化控制。经铷泡充制实验验证,充铷量在500±100μg以内的铷泡占已所充铷泡的比率由35%提高至73%;离散度由±550减小至±250μg。该技术和设备可用于原子气室批量制备,具有广泛的应用推广价值。

• 单位
  兰州工业学院; 兰州空间技术物理研究所