磁场辅助激光沉积类金刚石膜初探

作者：程勇; 陆益敏^*; 黄国俊; 米朝伟; 黎伟; 田方涛; 王赛

来源：红外与激光工程, 2019, 48(11): 269-273.

• 磁场辅助脉冲激光沉积
• 类金刚石膜
• 纳米硬度
• 厚度分布

提出了磁场辅助激光沉积类金刚石(DLC)膜技术,在硅基底附近添加磁力线向基底收拢的磁场,用以迫使侧向飞行的离子向基底靠拢并参与成膜。由于离子向基底的集中,使其在膜层中含量大幅上升,间接地减少了大颗粒的比例,因此,与无磁场条件下制备的DLC膜相比,引入磁场不仅提高了DLC膜的沉积速率,而且提高了其机械硬度;更重要的是,间接地证明了激光对靶材离化的高效性,为脉冲激光沉积(PLD)结合磁过滤技术提供了可行性的依据。

• 单位
  中国人民解放军陆军工程大学