利用朴素贝叶斯分类器对芯片无氧化烘箱温度PID控制历史数据进行多代偏差和偏差变化量分析处理,来评价当前控制的有效性及参数设置的合理性;并与专家控制系统结合构成一种参数自整定机器学习方法,实现设备智能控制。基于该方法设计出自动收集数据集、进行贝叶斯学习训练及验证的程序算法。