气泡化学气相沉积法制备石墨烯粉体生产设备设计与分析

作者:蔡晓明*; 徐赣君; 郝振亮; 黄文添; 蔡金明; 吴张永
来源:真空科学与技术学报, 2021, 41(10): 969-974.
DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202103015

摘要

根据气泡化学气相沉积法制备石墨烯粉体的工艺设计了一套生产设备。该设备由生产系统和收集系统组成,生产系统包括加热装置、进气装置和支撑装置三个子部件,能减少产品杂质,实现"冷壁"连续生产;收集系统包括收集管道、收集容器和抽气泵组成,采用串联分级式变截面沉降收集。采用有限元分析,在稳态热、热固耦合强度、拓扑优化、流场方面对该设备的实际工况进行分析模拟。

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