针对现有气态流量控制阀难以满足精细调控的问题进行研究,结合可压缩气体流动原理,设计了一种气体微流量控制阀,并采用计算流体力学(CFD)方法对所设计的微流量控制阀内部流动进行了仿真分析,结果表明:所设计的气体微流量控制阀流量特性与设计曲线相符。该气态微流量控制阀具有微流量精细调节的特点,具有微米级位移稳定高效输出能力,适用于对流量调节性能要求较高的场合,对微流量控制阀高精度稳定调节具有重要意义。
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