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摘要
对157 nm激光微加工技术制作的全光纤珐珀应变计进行了实验分析。介绍了光纤FP应变计的制作过程与工作原理,并开展了应变计的加载和温度测试试验。实验表明该光纤FP应变计粘贴于悬臂梁后,线性度和重复性较好,在温升过程中,由于悬臂梁的热膨胀造成了光纤应变计的热输出。通过采用对称贴片耦合求解方法进行热输出补偿,光纤应变计的热输出减小为补偿前的2.1%,为变温环境下的高精度测量提供了解决方案。
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单位电子科技大学; 中国空气动力研究与发展中心; 通信与信息工程学院
