静电吸附设备的高分子介电层研究

作者：李有亮; 周亮; 奉洛阳

来源：电子世界, 2021, (03): 19-20.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2021.03.008

<正>本文采用溶液共混法,制备了一种静电吸附设备的高分子介电层,研究了在高分子环氧树脂中掺杂不同质量比的陶瓷粉(Al2O3)纳米微粒(10～30 nm)对介电层吸附力的影响。实验结果显示:高分子介电层的体电阻与陶瓷纳米颗粒在环氧中的掺杂比成反比关系,并且当掺杂比为30%时,所制作得到的高分子介电层静电吸附力满足吸附要求。实验结果解决了静电吸附设备中采用高分子作为介电层的组分配比,为国内静电吸附设备的研发提供了实验数据和理论研究。