导模法生长超大尺寸蓝宝石板材的研究

作者:王东海; 徐军; 李东振; 王庆国; 罗平; 董建树; 潘燕萍
来源:人工晶体学报, 2020, 49(3): 398-401.
DOI:10.3969/j.issn.1000-985X.2020.03.002

摘要

采用自主设计制造的导模炉,通过热场模拟辅助设计出理想的模具表面温度分布,采用两段加热的方式控制晶体的应力和气泡缺陷,选择合适的提拉速率控制气泡层的分布,成功生长了高质量超大尺寸蓝宝石单晶板材,蓝宝石板材可利用尺寸690 mm×300 mm×12 mm.摇摆曲线半高宽为0.0163°,说明晶体具有良好的结晶质量.5 mm厚度样品的透过光谱测试表明,透过率与用其它晶体生长方法的晶体相同.

  • 单位
    常州市乐萌压力容器有限公司; 同济大学

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