用于晶体生长过程监控的高精确度称重系统设计

作者：景忠杰; 李欣; 董静薇

来源：哈尔滨理工大学学报, 2007, (02): 114-116+120.

• 晶体生长过程
• 称重系统
• LTC2400 crystal growing process
• weightsystem
• LTC2400

针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢,且其制造过程中,现有称重系统准确度不够的问题,设计了一种在监测晶体生长过程中,重量变化的高精确度称重系统．采用高精确度称重传感器确保测量准确度,采用软件滤波的方法提高系统的抗干扰能力,同时通过系统上位机对晶体生长过程进行实时监控和重量曲线记录．

• 单位
  哈尔滨理工大学