0.55～0.85μm波段增透膜的相位调控设计与研制

作者：李大琪; 于天燕; 陈刚; 刘保剑; 余德明; 段微波; 刘定权

来源：光学学报, 2016, 36(07): 326-330.

• 薄膜
• 增透膜
• 相位调控膜

在0.550.85μm波段范围内,在保证薄膜高透射率的同时对其相位进行调控,是多偏振成像模块项目研制的关键技术。采用等效膜层理论,使用三种氧化物薄膜材料:Ta2O5、Al2O3、SiO2,在光学玻璃H-LaK4L基底上设计并制备了相位调控增透膜。经过工艺优化,研制结果表明,在28°入射条件下,0.550.85μm的波段范围内,薄膜平均透射率大于97%,其相位差小于1°。膜层能够经受航天光学薄膜产品的环境实验的检验,满足了项目的可靠性要求。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院上海技术物理研究所