设计了一种利用压电叠层的微幅振动的新型压电直线电机.分析了非共振状态下电机的工作机理,设计了电机的定子结构和总体结构.利用有限元软件对驱动足进行仿真分析,得到了柔性结构的最佳尺寸.制作了样机并进行测试,试验表明电机的运行速度随激励频率和激励电压的增加而增加,且在一定阈值内近似成线性关系.当驱动电压峰峰值为100V、频率为1.6 kHz时,电机的空载速度可达2.8 mm/s,最大推力可达3.5 N.该电机工作频带宽、驱动电压低,对电机的结构精度和加工精度要求不高.
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