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摘要
基于二维材料的纳机电谐振器具有体积小、频率高、品质因数高等优势，在传感领域具有很大的应用潜力。其中，黑磷由于其波纹状的平面结构和各向异性的机械特性，为平面内矢量传感提供了可能。利用黑磷设计了一种光学激发光学读出的新型纳光机电磁矢量传感器。利用有限元分析法，探究了黑磷层数和长宽比对矢量性的影响，确定了黑磷谐振器的尺寸为0.6μm×0.134μm×0.5 nm;分别探索了高杨氏模量和低杨氏模量方向对磁场响应的各向异性。通过谐振模式的空间分布，解释了角度和长宽比对器件灵敏度和矢量性的影响机理。结果表明，将磁场旋转90°,灵敏度可从-4.048 MHz/mT变化为5.796 MHz/mT。与精度相近的洛伦兹力的微机电磁传感器相比，所设计传感器的频率可提高6个数量级，尺寸可缩小6个数量级。该设计为新型纳光机电矢量传感器的制备提供了一种方法。
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