高效单晶PERC电池为当前太阳电池产业中主要的大规模扩张方向,其主要的生产流程包括制绒、磷扩散、掺杂、刻蚀、PECVD、丝网印刷、烧结等工序,其中PECVD工序负责光学减反射氮化硅薄膜的制备和表面钝化的重要任务,其对高效单晶PERC电池的外观和效率起到重要影响。本文通过设计改变管式PECVD工艺中的新旧卡点选用和石墨舟运行次数的参数,探索了影响镀膜颜色的均匀性的规律,得出了有利于改善镀膜颜色均匀性的结论。
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