Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3铁电薄膜的微弧氧化制备工艺

作者：王敏; 郭会勇; 李文芳; 张果戈

来源：材料热处理学报, 2013, (07): 154-158.

DOI：10.13289/j.issn.1009-6264.2013.07.013

• 铁电薄膜
• Ba0.5Sr0.5TiO3
• 微弧氧化
• 表面形貌 ferroelectric thin film
• Ba0.5Sr0.5TiO3
• microarc oxidation
• surface morphology

用分析纯Ba(OH)2.8H2O和Sr(OH)2.8H2O配制电解液(浓度各为0.2 mol/L),采用微弧氧化技术在工业纯钛板(99.5%)表面原位生成BaxSr(1-x)TiO3铁电薄膜。对不同电流密度、电流频率和反应时间条件下获得的薄膜进行表征,研究了各因素对薄膜物相构成、表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明:所得薄膜均主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成;电流密度为20 A/dm2、电流频率为100 Hz、反应时间为10 min时,所得薄膜最平整、致密、表面粗糙度值最小,且微弧氧化孔洞分布最均匀,测得该薄膜在1 kHz条件下的介电常数为411.3。

• 单位
  平高集团有限公司; 华南理工大学; 广东技术师范大学