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摘要
金属材料薄膜的光学常数会随膜层厚度发生变化，从而导致薄膜的光谱特性也发生变化。在制备工艺中，不论是热蒸发工艺还是溅射工艺，Ni80Cr20（简称镍铬）薄膜在较“薄”和较“厚”的时候光谱中性度都较差，并且其光谱特性趋势相反。理论计算结果表明，增加镍铬合金中Cr（铬）的比份可以提高“薄”膜的中性度，而“厚”膜则需要提高Ni（镍）的比份。针对光谱特性相反的“薄”膜和“厚”膜，分别提出了“有意分馏”和增加镍的比例的方法来改善光谱的中性度。试验结果表明：为改善膜层的中性度，低密度时可采用“有意分馏”的热蒸发工艺来提高膜层中铬的含量；而高密度时则可以镀制纯镍。“有意分馏”的热蒸发工艺可将光谱中性度提升至1.8%；纯镍工艺可将OD4的光谱中性度提升至4.6%。所提出的改进的镀膜工艺是有效的，并为光谱检测、光纤通讯、摄影摄像等应用领域的衰减片制备工艺的改进提供了参考。
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单位沈阳仪表科学研究院有限公司
