用空心阴极光源标定极紫外-软X射线单色仪

作者：王丽辉; 李敏; 王孝坤; 高亮; 尼启良; 陈波

来源：光学技术, 2007, (03): 370-372.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2007.03.015

• 单色仪
• 极紫外
• 软X射线
• 空心阴极光源
• 标定 monochromator
• Euv
• soft x-ray
• hollow cathode source
• calibration

为了使单色仪在极紫外-软X射线波段准确地进行波长扫描,需要对单色仪进行波长标定。单色仪的所有组件都放置在罗兰圆的圆周上,改变出射狭缝在罗兰圆上的位置,在单色仪的出射狭缝处就可以得到相应波长的单色光。通过测量标准He空心阴极光源的发射光谱,对Mcpherson247单色仪进行波长标定,并对实验结果进行了分析,得出在1~100nm波段内单色仪标定精度为±0.017nm~±0.097nm。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院