温度对一维压电半导体梁弯曲特性的影响

作者:李蒙恩; 韩钰; 王宇欣; 陈广俊; 徐梦瑶; 张巧云*
来源:半导体光电, 2021, 42(05): 662-667.
DOI:10.16818/j.issn1001-5868.2021051901

摘要

采用微分算子法,理论研究了一维热压电半导体梁在横向力作用下的静态弯曲问题,得到了位移、电势、载流子、温度以及剪力、弯矩、电位移和电流密度等物理场的解析解,并分析了温度对n型Zn O压电半导体悬臂梁力电热耦合性能的调控作用。研究结果表明:温度能显著影响压电半导体梁的力电场分布,造成电势、载流子、电场和电位移在高温区域发生显著变化,而对于位移、剪力和弯矩影响较小。该温度调控效果主要是由热释电效应产生的极化电荷引起的。

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