氧化铝的加热荷电补偿研究

作者：王丽; 付景永; 吉元; 张隐奇; 徐学东; 钱鹏翔

来源：真空科学与技术学报, 2007, (06): 531-534.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2007.06.017

• 荷电效应
• 加热
• Al2O3
• 环境扫描电镜(ESEM) Charging effect
• Heating
• Environment scanning electronic microscopy(ESEM)

在环境扫描电镜(ESEM)中配置加热台,对Al2O3样品进行加热实验。结果表明,Al2O3表面的荷电效应随温度的稳定升高而逐渐减小。当温度上升至~360℃时,荷电效应完全消除,得到清晰的二次电子(SE)像。在加热过程中,Al2O3样品的吸收电流(Ia)值不断提高,在~360℃时达到2.67×10-7A。这个值相当于Al样品台的Ia值,表明加热可增加Al2O3表面的导电率。此外,在高真空环境中通过加热消除荷电后,得到的Al2O3样品的SE像衬度优于通常在低真空环境中通过电子-离子中和作用得到的图像衬度。

• 单位
  中国科学院上海硅酸盐研究所; 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室; 北京工业大学