多晶硅尾气回收工艺研究进展

作者：陈其国; 高建; 陈文龙

来源：氯碱工业, 2011, (09): 1-3.

• 多晶硅
• 尾气
• 膜分离技术 polycrystalline silicon
• tail gas
• membrane separation technology

综述多晶硅尾气回收工艺和方法,探讨新型膜分离技术在多晶硅尾气回收中的应用前景。

• 单位
  固体微结构物理国家重点实验室; 南京大学; 江苏中能硅业科技发展有限公司