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摘要
从添加反应抑制剂入手,借助划痕仪、压痕仪、扫描电子显微镜和X射线衍射仪等先进检测设备,探讨研究抑制剂与CO2比例对Al2O3多层复合涂层性能的影响。结果表明,当抑制剂与CO2的比例20%～40%时,经5h沉积后,对Al2O3颗粒的晶粒度影响不明显,择优取向未能做出判断,但膜基结合力有提高,表面色泽更明亮,使用性能亦有较大幅度提升;当提升比例大于30%时,更高比例的抑制剂添加情况还有待进一步验证。
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