残余应力对涂层材料性能的影响及测量方法

作者：高鹏

来源：机械研究与应用, 2018, 31(06): 199-202.

DOI：10.16576/j.cnki.1007-4414.2018.06.064

• 沉积工艺
• 涂层材料
• 残余应力
• 拉曼光谱

简述了两种涂层沉积工艺:化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD),并介绍了CVD制备氧化铝涂层的现状;简述了涂层材料存在的力学问题,及残余应力对涂层性能的影响;介绍了常见的残余应力测量方法,展望了拉曼光谱在氧化铝涂层残余应力测量中的发展前景。

• 单位
  天津职业技术师范大学