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摘要
为了满足空间光电系统对复合探测的需求,本文针对一种波导栅极薄膜空间复合探测用微通道光电倍增结构展开制备工艺方法研究.从微通道板光电倍增和空间电子束分流调制的角度出发,阐述波导栅极薄膜复合探测器件工作原理以及在制备过程中的约束条件;为了确定栅极结构的制备特性参数,依据适用于低能电子在多元介质中发生散射的物理模型,分别研究了栅极复合薄膜膜层厚度、入射电子能量对波导栅极薄膜中入射电子渡越轨迹的影响;通过汲水法获取自支撑有机隔离薄膜采用优化电阻热蒸发镀膜技术,实现了波导栅极薄膜的纳米尺度制备,并利用可视化的手段对其复合膜层结构予以表征;最后,从复合探测功能角度在专用真空测试系统中验证了该栅极薄膜复合器件的可行性.
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