不同激励参数对DBD等离子体放电功率的影响

作者:王学禹*; 罗日成; 吴勤斌; 肖宏峰; 田迪凯; 张宇飞
来源:真空科学与技术学报, 2021, 41(04): 352-357.
DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202005047

摘要

为探索DBD等离子体放电功率与各激励参数之间的联系,本文建立了二维的板-板电极简化仿真模型,分别研究了脉冲、正弦交流两种激励的放电频率、电压与放电功率间的具体函数关系。仿真结果显示:一定条件下,放电功率正比于脉冲电压峰值的1.381次方、正比于脉冲放电频率的1.097次方,即放电功率与脉冲电压峰值及脉冲放电频率间均有幂函数关系;放电功率与正弦交流电压幅值呈现指数函数关系,放电功率与正弦交流放电频率间近似线性关系;实际工程中,需要增大DBD等离子体放电功率时,应尽量选用提高电压峰值(幅值),而避免选择提高放电频率。

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