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摘要
该文提出了一种基于惯性粘滑驱动原理、可快速运动的跨尺度精密运动压电平台。该平台由滑动部分、摩擦调整部分、堆叠压电陶瓷、惯性部分和底座组成,总尺寸为60 mm×60 mm×58 mm。该文详细介绍了基于此结构的新型惯性粘滑驱动原理。为了研究所设计压电平台的驱动性能,制作了样机并建立了实验系统。实验中,驱动频率7 kHz时最大的单步步距为2.67μm,最大速度为22.7 mm/s,最大静态保持力为36 N。实验结果表明,该文设计的平台可快速运动,具有良好的运动性能。
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单位机电工程学院; 苏州大学
