籽晶辅助化学水浴沉积法制备ZnO纳米棒阵列

作者：潘景伟; 马向阳; 张辉; 杨德仁

来源：人工晶体学报, 2009, (06): 1304-1308.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2009.06.028

• ZnO
• 纳米阵列
• 籽晶辅助化学水浴沉积法
• 扫描电子显微镜
• X射线衍射 ZnO
• nano-arrays
• seed-assisted chemical bath deposition
• SEM
• XRD

采用籽晶辅助化学水浴沉积法,即先用磁控溅射法在硅片上制备c轴取向的ZnO薄膜,以此作为籽晶层,利用化学水浴沉积法制备ZnO纳米棒阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD),研究了ZnO薄膜籽晶层的沉积温度、水浴温度和前驱体溶液中Zn源的初始浓度等对ZnO纳米棒阵列生长的影响,由此得到了结晶性好且几乎垂直于衬底方向的ZnO纳米棒阵列的生长条件,为制备基于ZnO纳米棒阵列的器件提供了条件。

• 单位
  硅材料国家重点实验室