为改善单晶锗的硬脆力学特征，用分子动力学模拟方法研究了3种不同剂量的离子注入对单晶锗表面的改性机理。分析结果表明，离子注入对锗基体造成了非晶相损伤，纳米压痕过程表现为晶格演化。纳米压痕结果揭示了非晶相的存在能够降低单晶锗的硬度和脆性，提高塑性。此外，锗基体的非晶相损伤程度和硬度与离子剂量有关。随着剂量的增加，非晶损伤程度加深，硬度降低。
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