MgO单晶基片上YBCO高温超导薄膜的制备

作者：邱旸; 熊杰; 陶伯万

来源：低温与超导, 2007, (02): 110-113.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2007.02.006

• YBCO超导薄膜
• MgO
• 高温退火 YBCO
• Annealing

在2英寸MgO(001)单晶基片上,采用直流溅射法,通过基片高温退火,成功制备了性能优越的YBa2C3O7-δ(YBCO)双面超导薄膜,能够满足超导滤波器的设计要求。X射线衍射(XRD)分析表明经过退火的基片上生长的YBCO薄膜与基片有单一的外延取向关系;用原子力显微镜(AFM)和高能电子衍射(RHEED)分析高温退火对基片表面状况的改变。结果表明制备的YBCO薄膜具有很好的超导电性,薄膜临界电流密度Jc(77K,0T)≈2.5×106A/cm2,微波表面电阻Rs(10GHz,77K)≈0.16mΩ。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室