摘要
为实现蓝宝石基底高Q值且带通的特性(截止带波长为0.3μm~0.51μm、0.6μm~1.1μm,通带波长为0.52μm~0.59μm),选取Ti O2和Si O2作为高、低折射率材料。采用传统设计方法(将长波通膜系和短波通膜系分别镀制于基底两侧)进行设计,两侧膜厚分别为1.67μm和8.67μm,膜厚差值过大会使两侧所受应力失衡,导致滤光片产生较大的面形变化。为避免上述情况,将基底两侧的膜系进行重新调配,避免两侧膜层厚度出现失衡的情况。最终优化后两侧膜层数量分别为49层和50层,膜层厚度分别为5.73μm和4.22μm,膜层厚度和数量均较为均衡。采用电子束蒸发物理气相沉积法镀制,样品透射率采用分光光度计进行测试,分析测试结果得到:通带521nm~596nm平均透过率达到96.59%,截止区域平均透过率为0.076%,通带矩形度为0.95,通带两边过渡带陡度均为0.89%,具有高Q值的滤光片特性。且实验曲线和设计曲线有很好的一致性,说明重新调配两侧膜系结构的思路是行之有效的。
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