宽截止高Q值带通滤光片研究

作者：晏荆龙; 王义翔; 朱华新; 饶东升; 刘涛

来源：激光与光电子学进展, 2022, 1-12.

• 光学薄膜
• 膜系设计
• 带通滤光片
• 薄膜制备

为实现蓝宝石基底高Q值且带通的特性（截止带波长为0.3μm～0.51μm、0.6μm～1.1μm，通带波长为0.52μm～0.59μm），选取Ti O2和Si O2作为高、低折射率材料。采用传统设计方法（将长波通膜系和短波通膜系分别镀制于基底两侧）进行设计，两侧膜厚分别为1.67μm和8.67μm，膜厚差值过大会使两侧所受应力失衡，导致滤光片产生较大的面形变化。为避免上述情况，将基底两侧的膜系进行重新调配，避免两侧膜层厚度出现失衡的情况。最终优化后两侧膜层数量分别为49层和50层，膜层厚度分别为5.73μm和4.22μm，膜层厚度和数量均较为均衡。采用电子束蒸发物理气相沉积法镀制，样品透射率采用分光光度计进行测试，分析测试结果得到：通带521nm～596nm平均透过率达到96.59%，截止区域平均透过率为0.076%，通带矩形度为0.95，通带两边过渡带陡度均为0.89%，具有高Q值的滤光片特性。且实验曲线和设计曲线有很好的一致性，说明重新调配两侧膜系结构的思路是行之有效的。

• 单位
  江南大学