高纯气体中微量杂质分析方法

作者：单静; 王莹; 王杰; 靳鹏杰; 吉雪霞

来源：低温与特气, 2020, 38(04): 32-35.

• 高纯气体
• 微量水
• 微量氧
• 碳氧化物和碳氢化合物含量

主要概述了高纯气体中微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量的测试方法、原理、分析注意事项,并就当前化验工作现状,归纳出了微量杂质分析存在的不足以及今后的发展重点。

• 单位
  中国酒泉卫星发射中心