余弦光-液耦合喷嘴参数优化及射流抛光实验

作者：徐国敏; 戴旭杰; 姚统; 宋孝宗^*

来源：现代制造工程, 2019, (05): 52-56.

DOI：10.16731/j.cnki.1671-3133.2019.05.010

• 计算流体动力学
• 射流喷嘴
• 田口优化
• 纳米颗粒胶体
• 能量特征

采用流体力学模拟方法,建立了非淹没射流的计算流体动力学(Computational Fluid Dynamics,CFD)模型,研究了在紫外光诱导纳米颗粒胶体射流抛光过程中,使用参数优化前后的余弦光-液耦合喷嘴进行抛光加工的冲击动力学,对比分析了在非淹没射流下参数优化前后余弦光-液耦合喷嘴流场分布的能量特征以及压力分布情况,并使用参数优化后的余弦光-液耦合喷嘴对单晶硅材料表面进行抛光实验。仿真结果表明,胶体束在参数优化后的喷嘴内能够获得更大的出口速度,其最大值v=146. 621 m/s;抛光实验结果表明,相较于抛光前,抛光后的工件表面粗糙度降低了2. 78 nm。

• 单位
  兰州理工大学; 机电工程学院