一种用于激光探针成分分析仪的光路系统

作者：李祥友; 李嘉铭; 熊佛关; 朱志豪; 郝中骐; 沈萌; 郭连波; 曾晓雁; 陆永枫

来源：2016-12-31, 中国, CN201611266417.8.

本发明属于激光精密检测相关技术领域,其公开了一种用于激光探针成分分析仪的光路系统,所述光路系统包括光谱采集模块及成像模块。所述光路系统还包括激光控制模块、激光监测模块及照明模块,所述光谱采集模块、所述激光控制模块、所述激光监测模块、所述照明模块及所述成像模块是同轴设置的。所述激光控制模块用于控制激光能量及光斑；所述激光监测模块用于实时监测激光能量；所述光谱采集模块用于实时采集等离子光谱；所述照明模块用于对待测样品表面进行照明,以保证所述待测样品的表面清晰可见；所述成像模块用于对所述待测样品表面成像。所述光路系统同时实现稳定的光谱信息采集和清晰的表面成像。

• 单位
  华中科技大学