车载TFT LCD器件高温信赖性串扰机理及改善研究

作者:苏磊; 杨小飞; 李兴华; 刘旭; 牟勋; 孟佳
来源:光电子技术, 2019, 39(02): 123-126.
DOI:10.19453/j.cnki.1005-488x.2019.02.011

摘要

研究了车载液晶显示器可靠性试验中高温串扰的相关影响因子,通过实验发现TFT沟道N+台阶越大,高温串扰表现越差,通过增加工艺中灰化时间可以改善沟道台阶问题。同时栅极绝缘层的厚度也会对可靠性评价中的高温串扰产生影响。并且通过DOE实验确定可靠性串扰的显著影响因子为沟道N+台阶和栅绝缘层厚度。

  • 单位
    成都京东方光电科技有限公司