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摘要
<正>1科学背景由于缺乏实用化、精密化激光源,深紫外波段科研装备和前沿研究的发展受到严重制约。全球已有的几种深紫外波段激光源,如准分子激光、气体高次谐波、四波混频和自由电子激光等,对装备配套使用都有较高的基本要求。因此,目前全球深紫外波段科研装备主要使用同步辐射和气体放电等非相干光源,但这种光源能量分辨率(谱分
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<正>1科学背景由于缺乏实用化、精密化激光源,深紫外波段科研装备和前沿研究的发展受到严重制约。全球已有的几种深紫外波段激光源,如准分子激光、气体高次谐波、四波混频和自由电子激光等,对装备配套使用都有较高的基本要求。因此,目前全球深紫外波段科研装备主要使用同步辐射和气体放电等非相干光源,但这种光源能量分辨率(谱分
