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摘要
由于继承了铌酸锂晶体优异的光学特性并具有与半导体微纳加工工艺兼容的特性,铌酸锂薄膜被视为具有竞争力的集成光子学平台之一.基于不断改善的微纳制备工艺,低损耗波导、高品质因子微腔等各类传输控制器件得以实现,并呈现出优于传统体材料器件的性能.然而,作为集成光子学的重要组成部分,铌酸锂薄膜激光器的研究近期才取得突破.铌酸锂是间接带隙材料,电致发光存在极大困难,基于稀土离子掺杂实现光泵浦激光器是简易可行的方案.本文将总结近期基于稀土离子掺杂铌酸锂薄膜实现微盘、微环和单模激光器的研究进展,为片上铌酸锂薄膜主动器件的相关研究提供参考.
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