基于MEMS工艺W频段高效功率合成器的设计

作者：于士同; 邢小明; 夏侯海

来源：电子测量技术, 2021, 44(09): 31-35.

DOI：10.19651/j.cnki.emt.2106080

• MEMS工艺
• 空间功率合成
• 硅基波导
• 插入损耗
• 回波损耗

传统W波段功率合成器因为尺寸大很难与其他平面电路集成,限制了其在小尺寸平台上的应用。为了解决这个问题,开展高效率、小型化功率合成器的研究。提出了一种新型2路波导空间功率合成器结构,基于硅材料,使用MEMS工艺和晶圆键合三维堆叠技术,在硅基上开展多路功率合成,实现W频段高效率、小型化的功率合成。极大提升加工精度,使得整体性能更好、尺寸更小、更易于集成。仿真结果显示,整体结构在90～96 GHz频率范围内,回波损耗低于-22.5 dB,插入损耗优于-0.22 dB,整体功率合成效率优于95%。

• 单位
  南京电子技术研究所