飞秒激光微加工的研究进展

作者：顾理; 孙会来; 于楷; 赵方方

来源：激光与红外, 2013, (01): 14-18.

• 飞秒激光
• 微加工
• 烧蚀
• 双光子聚合 femtosecond laser
• micro-manufacture
• ablation
• two-photo polymerization

综述了近年来国内外利用飞秒激光微加工的研究进展。飞秒激光脉冲作为材料微纳加工的一项工具,已经从实验室进入到工业化阶段。介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况,分别就飞秒激光烧蚀微加工以及双光子聚合加工进行了阐述。最后分析了飞秒激光微加工目前存在的问题及未来发展的主要方向。

• 单位
  天津工业大学; 西华大学