<正>光刻胶(Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等照射或辐射,溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料,由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成。光刻胶透过光线,其化学特性会发生变化,因此,把光刻胶涂敷在硅基片上,经过曝光、显影、刻蚀等工艺,可以将设计好的图形复刻到硅基片上。目前,光刻胶已成为光电信息产业中图形复刻加工技术的关键性材料,在行业内得到广泛应用。