基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为表征

作者：周向阳; 蒋庄德; 俞瑞霞; 王海容

来源：机械强度, 2008, (02): 199-206.

• 纳米压入
• 力学性能
• 尺度效应
• 高分子聚合物
• 纳米材料
• 形状记忆合金 Nanoindentation
• Mechanical properties
• Scale effect
• Polymers
• Nanostructures
• Shape memory alloy

准确了解微/纳米特征尺度条件下材料的力学性能是MEMS/NEMS(micro/nano electro-mechanical system)材料实际应用的一个关键前提条件。文中研究基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为的表征方法,包括高聚物、一维结构纳米材料和形状记忆合金等。研究结果表明,纳米压入技术是评定这些新型MEMS/NEMS材料力学性能的有力工具,并可作为有效的实验手段,揭示力学行为与其依存诸因素之间的内在关联。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 西安交通大学