3-μm中红外偏振无关且CMOS兼容的石墨烯调制器（英文）

作者：陆荣国^*; 林瑞; 沈黎明; 蔡松炜; 王玉姣; 陈进湛; 杨忠华; 吕江泊; 周勇; 王小菊; 刘永

来源：红外与毫米波学报, 2021, 40(03): 297-301.

• 石墨烯调制器
• 偏振无关
• 模式转换
• 中红外

文章提出了一种3-μm中红外波段偏振无关且CMOS兼容的石墨烯调制器,器件主要包括两部分:模式转换结构及石墨烯调制器。该调制器不仅满足于CMOS兼容的要求,而且能够实现基膜的偏振无关调制。仿真结果表明该调制器在2.95μm到3.05μm的中红外波段能够实现高于20 dB的消光比,TE和TM模式的插入损耗都低于1.3 dB,其偏振相关损耗低于1.09 dB。通过计算,当器件长度为420μm,能够获得高达9.47 GHz的3 dB带宽。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室