差分电容测量在微位移检测中的应用

作者：李鹏程; 王利恒

来源：自动化与仪表, 2019, 34(10): 53-61.

DOI：10.19557/j.cnki.1001-9944.2019.10.012

• 微位移检测
• 差分电容测量
• STM32F103
• PCap01
• SPI通信

在工程领域常常需要对一些相对微小的位移尺度进行测量。针对微位移检测的问题提出基于PCap01的差分电容测量微位移检测系统。介绍了差分电容测量的原理以及系统的硬件、软件设计。该系统实现了差分电容的测量,电容值到微位移量的转换,将得到的实际值存储并显示。通过试验数据分析,验证了方案的可行性;该检测系统电容测量精度高达0.01 pF,实测微位移相对理论值最小误差仅0.13%,且实时性好,成本低。

• 单位
  武汉工程大学