自适应模拟退火结合共轭梯度法求解薄膜厚度

作者：刘鹏; 刘玉玲; 贺银波; 余飞鸿

来源：光电工程, 2005, (06): 93-96.

• 薄膜厚度测量
• 共轭梯度算法
• 自适应模拟退火算法
• 无损检测 Thin film thickness measurement
• Conjugate gradient algorithm
• Adapted simulated annealing
• Global optimization
• Nondestructive testing

根据薄膜光学计算理论和最优化理论,提出了用自适应模拟退火法结合共轭梯度法确定薄膜厚度的新方法。该方法建立的数学模型先采用自适应模拟退火算法搜索,再采用共轭梯度算法精确查找。它不但减少了无损伤测量方法对初始计算条件的过多依赖,而且在保证精确度的情况下极大地提高了计算速度,同时有很高的适应性。实验中,应用该方法求解了三层膜系的厚度,计算时间为3s,计算误差小于4nm。

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室