本文利用原位加热电镜技术和高分辨透射电镜研究了WO3-BiVO4非晶复合薄膜原位退火相变过程。退火过程中,薄膜中的Bi元素逐渐挥发,由于电镜中的高真空缺氧环境,加热到600℃时,形成的结晶相大部分为立方W相,少量的WOx(0x(0xVOy(03纳米柱嵌入BiVO4基质中的垂直异质外延结晶复合薄膜。因此,退火气氛和样品的受热方式对薄膜的结晶相变过程有很大影响。