基于肖特基结的线偏振光探测器及其制备方法

作者:赵凯; 魏钟鸣; 李京波; 宗易昕; 邓惠雄; 文宏玉
来源:2019-07-31, 中国, ZL201910706871.8.

摘要

本发明提供了一种基于肖特基结的线偏振光探测器及其制备方法,属于光探测器的制备技术领域。所述基于肖特基结的线偏振光探测器,包括:漏电极、源电极、二氧化硅衬底以及有源层;所述漏电极、有源层以及源电极从左至右依次位于所述二氧化硅衬底上方;所述有源层的材料为N型半导体纳米线;所述漏电极和源电极的材料均为金属材料。本发明提供的基于肖特基结的线偏振光探测器,通过使用半导体纳米线作为有源层,而源、漏电极均为金属材料,使半导体和金属的交界面为肖特基结,肖特基结可以使有源层本身只能吸收可见光延伸至红外光。