超导纳米线单光子探测器件的制备

作者：杨晓燕; 尤立星; 张礼杰; 黄少铭; MintuMondal; SanjeevKumar; JohnJesudasan; PratapRaychaudhuri

来源：低温与超导, 2010, (11): 1-4.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2010.11.001

• 超导纳米线单光子探测器
• 电子束曝光
• 反应离子刻蚀
• 探测效率 Superconducting nanowire single photon detector
• Electron beam lithograhpy
• Reactive ion etching
• Detection efficency

超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是超导单光子探测系统的核心器件。文中介绍了成功制备的基于5nm厚的NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件。器件核心结构为150nm宽的纳米曲折线结构,纳米线条占空比为75%,面积为20μm×20μm。超导纳米线是利用电子束曝光(EBL)技术和反应离子刻蚀(RIE)等工艺技术制备的。所制备的SNSPD样品,在温度3.5K下的临界电流约12.9μA;在1310nm波长光波辐照,12.5μA的偏置电流下,探测效率约0.016%。

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 温州大学; 信息功能材料国家重点实验室