碲镉汞红外探测器性能调控技术研究

作者：何温; 王丛; 田震; 王鑫; 高达; 杨海燕; 柏伟

来源：红外, 2021, 42(12): 6-14.

• 红外探测器
• Hg1-xCdxTe
• 调控技术

对影响Hg1-xCdxTe红外探测器性能的不同调控技术——包括材料调控(组分及温度、掺杂浓度、压强及应力等对材料性能的调控)、器件结构调控(n-on-p、p-on-n、p-i-n、n-B-n等器件结构的调控)和工艺调控(各种工艺调控对材料制备和器件制备等的影响)等——进行了简单介绍,以合理调控器件性能、有效降低器件暗电流、提高器件工作温度等,从而促进Hg1-xCdxTe红外探测器在降低成本、减小功耗、提高可靠性等方面的发展。

• 单位
  华北光电技术研究所