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摘要
硅微通道由于有其特殊的结构能够应用在很多领域,如微通道板,微型热传导器件,三维锂离子电池,三维传感器以及微型化工设备等。 本文研究主要从两方面着手,第一方面主要研究如何改进硅的电化学刻蚀工艺,包括p型和n型。其中重点研究了采用电化学法制备分离的p型硅微通道的原理及方法,并通过LabVIEW编程以及改进光源系统实现了p型硅微通道与衬底的良好分离,并获得了结构良好的微通道结构。 第二部分主要探索了硅微通道板电子倍增器的制作工艺。硅微通道板是自90年代末期提出的一种全新的基于半导体工艺技术的电子倍增器。与传统的玻璃微通道板电子倍增器相比,硅微通道板在技术上实现了将衬底材料和打拿极材料相分...
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